深圳金屬表層EDS測試 不銹鐵SEM形貌測試 能譜EDX元素分析類型：

　　EDX有三種基本工作方式。

　　一是定點(diǎn)分析，對樣品表面選定微區(qū)進(jìn)行掃描分析；

　　二是線掃描分析，可以對樣品表面選定的直線進(jìn)行元素定性定量分析；

　　三是面掃描分析，可以獲得某種元素質(zhì)量分布的掃描圖像。

　　能譜EDX元素分析優(yōu)缺點(diǎn)：

　　由于EDX通常與SEM或者TEM的一起使用，采用EDX進(jìn)行元素分析的一大優(yōu)勢就是可視化操作，非常直觀；

　　EDX可以測量所有的元素，分析效率高。

　　能譜所需探針電流小，對待分析試樣損傷小；能譜儀分辨率較差，峰背比低，譜峰重疊嚴(yán)重。能譜儀工作條件要求嚴(yán)格，需要液氮冷卻。由于電子進(jìn)入的深度的限制，EDX只能用來分析局部表層的元素種類和含量，不適用于定量分析，精度有時(shí)較大。

　　能譜EDX元素分析參數(shù)：

　　EDX可分析表面厚度1~5μm的元素成分，探測靈敏度大約為0.1%（原子摩爾分?jǐn)?shù)，與元素種類有關(guān)）。

　　EDX可探測元素范圍大（4Be~92U），對重元素的分析特別有效。

　　能譜EDX元素分析送樣要求：

　　樣品的表面必須處理干凈，金屬試樣表面要清理其表面氧化層及污染物；粉末狀樣品要注意分散性和粘牢；液體試樣可以滴到導(dǎo)電性好的基材上,并做好干燥處理；