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Osaka干式螺桿真空泵DSP50

單價(jià): 面議
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨
所在地: 福建 廈門
有效期至: 長期有效
發(fā)布時(shí)間: 2023-12-14 09:32
最后更新: 2023-12-14 09:32
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詳細(xì)說明

干式真空泵

Osaka干式螺桿真空泵,完全無油運(yùn)作,適用于大多數(shù)潔凈制程;體積小以及操作簡單。

特點(diǎn)

排氣速度:50L?min、230L?min、500L?min 3種產(chǎn)品

極限壓力:DSP50:20Pa、DSP250 ? 500:0.5Pa

潔凈排氣:沒有油蒸氣,粒子的逆流

無潤滑油:無同步齒輪,也不需要潤滑油

攜帶方便:小型,輕量,抗外部干擾

空冷規(guī)格

初期排氣時(shí)間短,大氣壓附近排氣速度快

低消費(fèi)電力設(shè)計(jì)

應(yīng)用

SEM,光刻

醫(yī)療設(shè)備

裝載室,搬送室排氣

分析儀器

加速器,離子源,電子槍的排氣

一般產(chǎn)業(yè)

PVD或R&D

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)DSP50DSP250DSP500
排氣速度(L/min)50230500
氣鎮(zhèn)開啟36200430
極限壓力(Pa)通常200.5
氣鎮(zhèn)開啟時(shí)2002
法蘭連接進(jìn)氣口KF16KF25KF40
排氣口RC1KF25
電源電壓(V)100-240100-230
頻率(Hz)50/60
相數(shù)單相
容許電壓精度±10%
功率(W)極限壓力時(shí)230240270
380600
冷卻方式空冷
重量(Kg)91520


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