CDG160D加熱型電容膜片真空計

INFICON SKY CDG160D,CDG200D 高溫壓力計是實現(xiàn)**總壓測量與控制的理想之選。CDG160D真空計溫度控制在 160 °C，CDG200D 真空計溫度控制在 200 °C，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)卓越，極具成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

特點

擁有成本更低，預熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗

易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點

輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調(diào)零點偏移

診斷端口便于快速服務與維護

兩年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

卓越的信號穩(wěn)定性和可重復性，是非常嚴苛的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準

合規(guī)和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應用

蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程

化學和腐蝕性高溫過程

需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

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