日本UNION公司THS-10是一款基于光學(xué)焦距檢測(cè)方法.結(jié)合兩個(gè)顯微光學(xué)系統(tǒng)（表面和底面），采用精密對(duì)焦指示器的非接觸式厚度測(cè)量系統(tǒng)。當(dāng)觀察到準(zhǔn)確的位置和圖象時(shí)，既可測(cè)量厚度，測(cè)量厚度10毫米,可選:25毫米。本機(jī)采用光學(xué)系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)單?？汕宄@示準(zhǔn)確的對(duì)焦位。

案例:非接觸測(cè)量 易拉罐沖壓后的厚度測(cè)量,晶圓厚度的直接測(cè)量. 測(cè)量誤差1微米,讀數(shù)精度0.1微米

測(cè)量行程XY 100*100毫米 測(cè)量誤差1微米

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