M32-01 空氣多點采樣器 在大型潔凈室運行非關(guān)鍵制程時，無需進行連續(xù)粒子監(jiān)測，此時可選用可靠的定期粒子檢測方案，精準收集粒子污染趨勢數(shù)據(jù)。借助氣溶膠多點采樣系統(tǒng)開展監(jiān)測工作，能夠用更少的儀器實現(xiàn)更高效的定期粒子檢測——通過一臺粒子計數(shù)器兼容32個采樣端口，靈活切換不同監(jiān)測位置，有效提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率。

M32-01 空氣多點采樣器的特點與優(yōu)勢

可實現(xiàn)多路監(jiān)控，ZUI多支持32個監(jiān)測位置

潔凈凈化所需時間短，提升監(jiān)測整體效率

單個采樣點的成本經(jīng)濟實惠，降低整體投入

具備雙向控制功能，操作靈活便捷

采樣管ZUI大可實現(xiàn)38.1米（125英尺）的樣本傳輸距離

支持可編程采樣點序列，可根據(jù)需求靈活設(shè)置監(jiān)測流程

可通過TSI FMS軟件實現(xiàn)統(tǒng)一控制，簡化操作流程

兼容TSI 1 CFM（28.3 L/min）規(guī)格的AeroTrak?便攜式粒子計數(shù)器及AeroTrak 7110遠程粒子計數(shù)器

集成式控制器設(shè)計，ZUI大限度降低設(shè)備操作復雜度

配備壓力傳感器端口，確保真空流穩(wěn)定，保障監(jiān)測精度

符合ISO 14644-1標準，該標準作為潔凈室空氣潔凈度分級的核心標準，明確了懸浮顆粒物濃度的測量規(guī)范，可保障監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)可靠、具備國際通用性。

請注意——32-01型多點采樣器目前可發(fā)運至中國、印度、日本、韓國、墨西哥、新加坡、臺灣地區(qū)及美國。

M32-01 空氣多點采樣器的應用范圍

主要用于各類場景下的粒子污染監(jiān)測工作。